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热电偶真空计和电离真空计测量真空度的原理是什么与真空电离规如何除气

热电偶真空计通过热电偶测量气体分子热传导产生的热量来测量真空度；电离真空计则通过测量气体分子被电离后产生的电荷量来测量真空度。真空电离规除气通常是通过加热或抽气方式去除残留气体分子，以达到更高的真空度。...